1、定期（一般为两月一次）用尘埃粒子计数器测定用FFU实施净化的洁净区域的洁净度。当实测洁净度低于要求的洁净度时，应检查高效过滤器是否失效，若已失效，则应更换新的高效过滤器。
2、更换FFU上面新的高效过滤器时均应停机进行，应注意检查高效过滤器是否由于运输原因而损坏。
3、更换FFU的高效过滤器时需注意以下事项：
①、更换新的高效过滤器时应特别注意搬运、拆箱及安装取用时保护滤纸完整无损，禁止用手触及滤纸造成破损。
②、安装前，将新的高效过滤器对着亮处，以肉眼查看高效空气过滤器是否因运输等原因而出现漏洞。如有漏洞则不能使用。
③、更换时只需断开FFU上的电源、移开箱体便可取下失效的高效过滤器，换上新的高效过滤器，并应使贴在上面的箭头标记指向地面。
4、更换高效过滤器后，应用尘埃粒子计数器检漏，尤其要在其边框四周进行扫描检查看是否有泄露，如有泄漏需用密封胶或密封材料封堵。
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